Q&T マイクロサーマルガス質量流量計は、MEMS ベースの熱測定原理を使用しており、シリコンチップ上のマイクロヒーターと温度センサーがガスの流れによって引き起こされる熱伝達の変化を検出します。これにより、特に超低流量の場合に、圧力や温度の補償なしで、高感度、高速応答、正確な測定が可能になります。
乾燥空気、窒素、その他の非腐食性ガスに適したコンパクトなメーターは、高精度、広いターンダウン比、低圧力損失を実現し、4 ~ 20 mA および RS485 出力をサポートしているため統合が容易です。
一般的な用途には、研究室、医療機器、化学処理、エネルギー システム、石油とガス、研究が含まれます。
