Q&T 마이크로 열 가스 질량 유량계는 실리콘 칩의 마이크로 히터와 온도 센서가 가스 흐름으로 인한 열 전달 변화를 감지하는 MEMS 기반 열 측정 원리를 사용합니다. 이는 압력이나 온도 보상 없이 특히 초저유량에 대해 높은 감도, 빠른 응답 및 정확한 측정을 제공합니다.
건조 공기, 질소 및 기타 비부식성 가스에 적합한 이 소형 계기는 높은 정확도, 넓은 턴다운 비율, 낮은 압력 손실을 제공하고 손쉬운 통합을 위해 4~20mA 및 RS485 출력을 지원합니다.
일반적인 응용 분야에는 실험실, 의료 기기, 화학 처리, 에너지 시스템, 석유 및 가스, 연구가 포함됩니다.
