سوئال-جاۋاب مىكرو ئىسسىقلىق گازى ماسسىسى ئۆلچەش ئەسۋابى MEMS نى ئاساس قىلغان ئىسسىقلىق ئۆلچەش پرىنسىپىنى قوللىنىدۇ ، كرېمنىي ئۆزىكىدىكى مىكرو ئىسسىقلىق ۋە تېمپېراتۇرا سېنزورى گاز ئېقىمى كەلتۈرۈپ چىقارغان ئىسسىقلىق تارقىتىش ئۆزگىرىشىنى بايقىيالايدۇ. بۇ يۇقىرى سەزگۈرلۈك ، تېز ئىنكاس ۋە توغرا ئۆلچەش بىلەن تەمىنلەيدۇ ، بولۇپمۇ دەرىجىدىن تاشقىرى تۆۋەن ئېقىش نىسبىتىگە بېسىم ياكى تېمپېراتۇرا تولۇقلىمىسى يوق.
قۇرۇق ھاۋا ، ئازوت ۋە باشقا چىرىمەيدىغان گازلارغا ماس كېلىدۇ ، ئىخچام ئۆلچەش ئەسۋابى يۇقىرى ئېنىقلىق ، كەڭ بۇرۇلۇش نىسبىتى ، تۆۋەن بېسىم يوقىتىش بىلەن تەمىنلەيدۇ ھەمدە 4 ~ 20 mA ۋە RS485 چىقىرىشنى قوللايدۇ.
تىپىك قوللىنىشچان پروگراممىلار تەجرىبىخانا ، داۋالاش ئۈسكۈنىلىرى ، خىمىيىلىك پىششىقلاپ ئىشلەش ، ئېنېرگىيە سىستېمىسى ، نېفىت ۋە تەبىئىي گاز ۋە تەتقىقات قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
